用于C4F6?C5F8?COS的檢測器 TP-70DGⅡ

特征:

    通過采用含有催化劑的熱分解器,實現減少干擾帶來的影響
    單觸式的傳感器更換方式
    搭載新型智能化傳感器
    采用易于觀察的大型字符LCD
    搭載流量自動調整功能

用途:

    用于檢測半導體工廠內的C4F6/C5F8/COS
    用于對儲氣瓶存放柜及半導體制造裝置進行檢測
    用于無塵室內的環境監測

產品類別

固定式

類型

智能型檢測部

檢測對象氣體

C4F6/C5F8/COS

檢測原理

催化+定電位電解式

檢測范圍

05ppmC4F6?C5F8
0
15ppmCOS

報警設定值

1st2ppm/2nd:4ppmC4F6?C5F8
1st
5ppm/2nd:10ppmCOS

檢測方式

泵吸式

報警種類

氣體報警/故障報警

報警內容

1stALM1指示燈閃爍、或亮燈(紅色)
2st
ALM2指示燈閃爍、或亮燈(紅色)

電源

AC100240V±10%

外形尺寸?重量

180(W)×225(H)×285(D)mm(不包含突起部分)
6.0kg

使用時的溫濕度范圍

2040℃無驟變
40
70%RH(無結露)

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